Neuartige poröse Strukturen für MEMS: Erzeugung per Pulveragglomeration mittels ALD
- Weitere Titel
-
Novel porous structures for MEMS: Fabrication by powder agglomeration by means of ALD
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Kiel, Christian-Albrechts-Universität, Dissertation, 2018
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Kiel
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Kiel
- (wann)
-
2018
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:8-diss-229316
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:37 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Reimer, Tim
- Universitätsbibliothek Kiel
Entstanden
- 2018
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