Neuartige poröse Strukturen für MEMS: Erzeugung per Pulveragglomeration mittels ALD
- Alternative title
-
Novel porous structures for MEMS: Fabrication by powder agglomeration by means of ALD
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Kiel, Christian-Albrechts-Universität, Dissertation, 2018
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Kiel
- (who)
-
Universitätsbibliothek Kiel
- (when)
-
2018
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:8-diss-229316
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:37 AM CEST
Data provider
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Associated
- Reimer, Tim
- Universitätsbibliothek Kiel
Time of origin
- 2018
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