Hochschulschrift
Ein neuartiger Prozess zur Herstellung vakuumgekapselter MEMS-Mikroscannerspiegel auf Waferebene
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Kiel, Christian-Albrechts-Universität, Diss., 2009
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Kiel
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Kiel
- (wann)
-
2010
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:8-diss-38471
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:34 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Oldsen, Marten
- Universitätsbibliothek Kiel
Entstanden
- 2010
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