Reliability of MEMS : [testing of materials and devices]

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783527314942
3527314946
Dimensions
25 cm
Extent
XX, 303 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Bibliographic citation
Advanced micro & nanosystems ; Vol. 6

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
MEMS
Zuverlässigkeit

Event
Veröffentlichung
(where)
Weinheim
(who)
Wiley-VCH
(when)
2008
Contributor
Tabata, Osamu

Table of contents
Rights
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
Last update
11.03.2025, 11:48 AM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Associated

  • Tabata, Osamu
  • Wiley-VCH

Time of origin

  • 2008

Other Objects (12)