Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2520-8128
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan ; day:4 ; month:11 ; year:2021 ; pages:1-8
Nanomanufacturing and metrology ; (4.11.2021), 1-8

Urheber
Misumi, Ichiko
Kizu, Ryosuke
Itoh, Hiroshi
Kumagai, Kazuhiro
Kobayashi, Keita
Sigehuzi, Tomoo
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1007/s41871-021-00119-1
URN
urn:nbn:de:101:1-2022011819281259512920
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:25 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Misumi, Ichiko
  • Kizu, Ryosuke
  • Itoh, Hiroshi
  • Kumagai, Kazuhiro
  • Kobayashi, Keita
  • Sigehuzi, Tomoo
  • SpringerLink (Online service)

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