Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium-Mikromechanik

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
In: Aachen : Shaker
Braunschweig, Technische Universität Braunschweig, Dissertation, 1999

Bibliographic citation
Publications Institute of Microtechnology IMT ; 3

Keyword
Mikromechanik
Silicium
Laser
Gammastrahlenlaser
Puls
Gas

Event
Veröffentlichung
(where)
Braunschweig
(who)
Technische Universität Braunschweig
(when)
2019
Creator
Dauer, Stefan
Contributor

DOI
10.24355/dbbs.084-201901211443-0
URN
urn:nbn:de:gbv:084-2019012114442
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:56 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2019

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