- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826549786
3826549783
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XIII, 127 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1999
- Bibliographic citation
-
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 3
- Keyword
-
Silicium
Wafer
Laserablation
Neodym-YAG-Laser
Fokussierung
Gold
Dünne Schicht
Silicium
Wafer
Laserablation
Neodym-YAG-Laser
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1999
- Creator
-
Dauer, Stefan
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:24 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Dauer, Stefan
- Shaker
Time of origin
- 1999
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