- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832286576
- Maße
-
21 cm, 227 gr.
- Umfang
-
146 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2009
- Erschienen in
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 9
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Kondensatormikrofon
MEMS
Technische Membran
Opferschicht
Siliciumdioxid
Herstellung
Kondensatormikrofon
MEMS
Technische Membran
Opferschicht
Silicium
Germanium
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:07 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Teeffelen, Kathrin van
- Shaker
Entstanden
- 2009
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