- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844030440
- Dimensions
-
21 cm, 198 g
- Extent
-
132 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2013
- Bibliographic citation
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 26
- Keyword
-
Siliciumsensor
Drucksensor
Kapazitiver Sensor
Technische Membran
Herstellung
Silicium
Poröser Stoff
Epitaxieschicht
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:39 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Gutsche, Kathrin
- Shaker
Time of origin
- 2014
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