- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844030440
- Maße
-
21 cm, 198 g
- Umfang
-
132 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2013
- Erschienen in
-
Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 26
- Schlagwort
-
Siliciumsensor
Drucksensor
Kapazitiver Sensor
Technische Membran
Herstellung
Silicium
Poröser Stoff
Epitaxieschicht
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:39 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Gutsche, Kathrin
- Shaker
Entstanden
- 2014
Ähnliche Objekte (12)
Triplettzustände in Siloxen und porösem Silizium
Modifizierung und Mikrostrukturierung von porösem Silizium
Gestufte Verbrennung in porösen Medien
Herstellung poröser Kohlenstoffe aus biomorphen Karbidkeramiken
Synthese poröser Metalloxidstrukturen durch template nanocoating
Strukturbildung von porösem Silizium
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Schallwandler in Silizium-Technologie
Dünnschichtsolarzellen aus rekristallisiertem Silicium
Strangzerteilung in porösen Hohlfasern zur Herstellung monodisperser Emulsionen
Strukturbildung von porösem Silizium
Integrierte Pikosekunden-Zeitbereichsmeßtechnik auf Silizium
Triplettzustände in Siloxen und porösem Silizium
Modifizierung und Mikrostrukturierung von porösem Silizium
Gestufte Verbrennung in porösen Medien
Herstellung poröser Kohlenstoffe aus biomorphen Karbidkeramiken
Synthese poröser Metalloxidstrukturen durch template nanocoating
Strukturbildung von porösem Silizium
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Schallwandler in Silizium-Technologie
Dünnschichtsolarzellen aus rekristallisiertem Silicium
Strangzerteilung in porösen Hohlfasern zur Herstellung monodisperser Emulsionen
Strukturbildung von porösem Silizium
Integrierte Pikosekunden-Zeitbereichsmeßtechnik auf Silizium
Triplettzustände in Siloxen und porösem Silizium
Modifizierung und Mikrostrukturierung von porösem Silizium
Gestufte Verbrennung in porösen Medien
Herstellung poröser Kohlenstoffe aus biomorphen Karbidkeramiken
Synthese poröser Metalloxidstrukturen durch template nanocoating
Strukturbildung von porösem Silizium
Höhenstrahlungsresistenz von Silizium-Hochleistungsbauelementen
Schallwandler in Silizium-Technologie
Dünnschichtsolarzellen aus rekristallisiertem Silicium
Strangzerteilung in porösen Hohlfasern zur Herstellung monodisperser Emulsionen
Strukturbildung von porösem Silizium