Hochschulschrift
Modellbasierte Regelung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783185179082
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XVII, 172 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010
- Bibliographic citation
-
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 1179, Reihe 08
- Keyword
-
Positionierantrieb
Präzisionsmessung
Nanometerbereich
Bahnsteuerung
Folgeregelung
Reglerentwurf
Mathematisches Modell
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:02 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Amthor, Arvid
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2010
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