Hochschulschrift
Modell des anisotropen Ätzens von einkristallinem Silizium in wäßrigen KOH-Lösungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898200820
3898200825
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
181 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2000
- Schlagwort
-
Silicium
Einkristall
Nassätzen
Anisotropie
Kalilauge
Prozessmodell
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
Mensch-und-Buch-Verl.
- (wann)
-
2000
- Urheber
-
Schröder, Henning
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:59 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schröder, Henning
- Mensch-und-Buch-Verl.
Entstanden
- 2000
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