Hochschulschrift | Online-Publikation
Einflüsse von Verunreinigungen im Silicium und in der Ätzlösung auf das anisotrope Ätzen von Silicium in wäßrigen KOH-Ätzlösungen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Berlin, Techn. Univ., Diss., 2000
- Keyword
-
Silicium
Nassätzen
Anisotropie
Kalilauge
Verunreinigung
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:kobv:83-opus-1095
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:55 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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