Hochschulschrift
Untersuchungen zum Ätzen von Silizium in alkalischen und fluoridhaltigen Elektrolyten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
124 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1993
- Keyword
-
Silicium
Ätzen
Elektrolyt
Alkalische Lösung
Silicium
Ätzen
Elektrolytlösung
Fluoride
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:19 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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