Hochschulschrift

Modell des anisotropen Ätzens von einkristallinem Silizium in wäßrigen KOH-Lösungen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783898200820
3898200825
Dimensions
21 cm
Extent
181 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2000

Keyword
Silicium
Einkristall
Nassätzen
Anisotropie
Kalilauge
Prozessmodell

Event
Veröffentlichung
(where)
Berlin
(who)
Mensch-und-Buch-Verl.
(when)
2000
Creator
Schröder, Henning

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Last update
11.06.2025, 1:59 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Schröder, Henning
  • Mensch-und-Buch-Verl.

Time of origin

  • 2000

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