Hochschulschrift
Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Drehratensensors in dickem einkristallinem Silizium und Aufbau als System mit einer diskreten Auswerteschaltung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783831600830
383160083X
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
144 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 2001
- Schlagwort
-
Drehratensensor
Siliciumsensor
Mikrosystemtechnik
Dickschichttechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
München
- (wer)
-
Utz, Wiss.
- (wann)
-
2001
- Urheber
-
Schmid, Rainer
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:48 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schmid, Rainer
- Utz, Wiss.
Entstanden
- 2001
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