Hochschulschrift
Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines mikromechanischen Drehratensensors in dickem einkristallinem Silizium und Aufbau als System mit einer diskreten Auswerteschaltung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783831600830
383160083X
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
144 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 2001
- Keyword
-
Drehratensensor
Siliciumsensor
Mikrosystemtechnik
Dickschichttechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
München
- (who)
-
Utz, Wiss.
- (when)
-
2001
- Creator
-
Schmid, Rainer
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:48 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schmid, Rainer
- Utz, Wiss.
Time of origin
- 2001
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