Hochschulschrift
Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XXIV, 180 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2015
- Keyword
-
Gas
Spurengas
Analyse
Nachweis
Luft
Sensor
MEMS
Filter
Detektor
Wafer
Silizium
Mikrosystemtechnik
Mikrofertigung
Bonden
Tiefenätzen
Bauelement
Konzept
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:20 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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