Hochschulschrift
Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2015
- Schlagwort
-
Detektor
Gas
Spurengas
Analyse
Nachweis
Luft
Sensor
MEMS
Filter
Detektor
Wafer
Silizium
Mikrosystemtechnik
Mikrofertigung
Bonden
Tiefenätzen
Bauelement
Konzept
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
- (wann)
-
2015
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Technische Universität Dresden
- (wann)
-
2015
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Lakner, Hubert
Mokwa, Wilfried
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-163935
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:45 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Graf, Alexander
- Lakner, Hubert
- Mokwa, Wilfried
- Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
- Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2015
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