Hochschulschrift
Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2015
- Keyword
-
Detektor
Gas
Spurengas
Analyse
Nachweis
Luft
Sensor
MEMS
Filter
Detektor
Wafer
Silizium
Mikrosystemtechnik
Mikrofertigung
Bonden
Tiefenätzen
Bauelement
Konzept
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden, Dresden
- (who)
-
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
- (when)
-
2015
- Creator
- Contributor
-
Lakner, Hubert
Mokwa, Wilfried
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-163935
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:46 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Graf, Alexander
- Lakner, Hubert
- Mokwa, Wilfried
- Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden, Technische Universität Dresden
Time of origin
- 2015
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