Hochschulschrift
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
II, 100 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Paderborn, Univ., Diss., 2002
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Rotationssensor
Entwurf
Mikromechanik
Oberflächenmontage
CMOS
Siliciumbauelement
- Urheber
-
Sasse, Philipp Wilhelm
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:16 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Sasse, Philipp Wilhelm
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