Hochschulschrift
Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Habil.-Schr., 2004
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Kapazitiver Sensor
Drehratensensor
Wafer
Silicium
Mikrosystemtechnik
Dreidimensionale Integration
Drehratensensor
Mikromechanik
Mikrosystemtechnik
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:swb:ch1-200401375
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:21 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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