Hochschulschrift
Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Techn. Univ., Habil.-Schr., 2004
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Kapazitiver Sensor
Drehratensensor
Wafer
Silicium
Mikrosystemtechnik
Dreidimensionale Integration
Drehratensensor
Mikromechanik
Mikrosystemtechnik
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:swb:ch1-200401375
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:21 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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