Hochschulschrift
Technologieentwicklung für kapazitive Sensoren mit bewegten Komponenten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
IX, 177, XVII S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Techn. Univ., Habil.-Schr., 2004 (Nicht für den Austausch)
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Kapazitiver Sensor
Drehratensensor
Wafer
Silicium
Mikrosystemtechnik
Dreidimensionale Integration
Drehratensensor
Mikromechanik
Mikrosystemtechnik
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:31 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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