Thermomechanische Simulation von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Neubiberg, Universität der Bundeswehr München, Dissertation, 2021

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Chip
Mikrofon
Kriechen
Hysterese
Messung
Mikrofon ; MEMS ; Hysterese ; Messung ; Simulation ; Numerisches Verfahren ; Hochschulschrift

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Neubiberg
(wer)
Universitätsbibliothek der Universität der Bundeswehr München
(wann)
2021
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Hansch, Walter
Hansch, Walter
Feiertag, Gregor
Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
urn:nbn:de:bvb:706-7677
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:52 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2021

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