Hochschulschrift

Modellierung und Simulation der Silizium-Gasphasenepitaxie

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
21 cm
Extent
115 S.
Language
Deutsch
Notes
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1982

Keyword
Silizium
Gasphasenepitaxie
Epitaxie
Silicium
Gasphasenepitaxie
Epitaxie

Creator
Lewe, Victor

Table of contents
Rights
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Last update
11.03.2025, 11:56 AM CET

Data provider

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Lewe, Victor

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