Hochschulschrift

Protonendotierung von Silizium : Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783658073893
3658073896
Dimensions
21 cm, 440 g
Extent
XVI, 314 S.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2014

Keyword
Silicium
Proton
Dotierung

Event
Veröffentlichung
(where)
Wiesbaden
(who)
Springer Vieweg
(when)
2014
Creator
Laven, Johannes G.

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Last update
11.03.2025, 12:01 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Laven, Johannes G.
  • Springer Vieweg

Time of origin

  • 2014

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