Hochschulschrift

Protonendotierung von Silizium : Untersuchung und Modellierung protoneninduzierter Dotierungsprofile in Silizium

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783658073893
3658073896
Maße
21 cm, 440 g
Umfang
XVI, 314 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2014

Schlagwort
Silicium
Proton
Dotierung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Wiesbaden
(wer)
Springer Vieweg
(wann)
2014
Urheber
Laven, Johannes G.

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:05 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Laven, Johannes G.
  • Springer Vieweg

Entstanden

  • 2014

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