Hochschulschrift

Stress related problems in process simulation

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896497048
3896497049
Dimensions
21 cm
Extent
152 S.
Edition
1. ed.
Language
Englisch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 2001

Bibliographic citation
Series in microelectronics ; Vol. 117

Keyword
VLSI
Halbleitertechnologie
Mechanische Spannung
Spannungsanalyse
Viskoelastizität
Nichtlineares mathematisches Modell

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
Hartung-Gorre
(when)
2001
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:36 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2001

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