Hochschulschrift

Mesh generation algorithms for three-dimensional semiconductor process simulation

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896495839
3896495836
Maße
21 cm
Umfang
VIII, 103 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 2000

Erschienen in
Series in microelectronics ; Vol. 97

Schlagwort
Halbleitertechnologie
Prozesssimulation
System von partiellen Differentialgleichungen
Finite-Elemente-Methode
Gittererzeugung
Delaunay-Triangulierung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Hartung-Gorre
(wann)
2000
Urheber
Villablanca, Luis

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:19 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Villablanca, Luis
  • Hartung-Gorre

Entstanden

  • 2000

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