High-resolution fiber-coupled interferometric point sensor for micro- and nano-metrology

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Shaping the Future by Engineering : proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, 8 - 12 September 2014 ; [1.1.13]

Klassifikation
Industrielle und handwerkliche Fertigung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Universitätsbibliothek Ilmenau
(wann)
2014
Urheber
Schake, Markus
Schulz, Markus
Lehmann, Peter
Beteiligte Personen und Organisationen
Universitätsbibliothek / ilmedia

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-176:5
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:27 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Schake, Markus
  • Schulz, Markus
  • Lehmann, Peter
  • Universitätsbibliothek <Ilmenau> / ilmedia
  • Universitätsbibliothek Ilmenau

Entstanden

  • 2014

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