High-resolution fiber-coupled interferometric point sensor for micro- and nano-metrology
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Erschienen in
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Shaping the Future by Engineering : proceedings ; 58th IWK, Ilmenau Scientific Colloquium, Technische Universität Ilmenau, 8 - 12 September 2014 ; [1.1.13]
- Klassifikation
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Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Ilmenau
- (wer)
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Universitätsbibliothek Ilmenau
- (wann)
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2014
- Urheber
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Schake, Markus
Schulz, Markus
Lehmann, Peter
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Universitätsbibliothek / ilmedia
- URN
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urn:nbn:de:gbv:ilm1-2014iwk-176:5
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:27 MESZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Schake, Markus
- Schulz, Markus
- Lehmann, Peter
- Universitätsbibliothek <Ilmenau> / ilmedia
- Universitätsbibliothek Ilmenau
Entstanden
- 2014