Hochschulschrift
Untersuchungen zur Herstellung von galvanisierbaren Mikrostrukturen mit extremer Strukturhöhe durch Abformung mit Kunststoff im Vakuum-Reaktionsgiessverfahren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
66 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill.
Karlsruhe, Univ., Diss., 1987
- Keyword
-
LIGA-Verfahren
Gießen (Technik)
LIGA-Verfahren
- Creator
-
Vollmer, Herbert
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:29 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Vollmer, Herbert
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Wafer zur Abformung von Mikrostrukturen am Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
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Wafer zur Abformung von Mikrostrukturen am Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
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