Hochschulschrift

Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
84 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., A. Michel, 1992

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Karlsruhe
(wer)
Kernforschungszentrum Karlsruhe
(wann)
1993
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:23 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1993

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