Hochschulschrift

Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
84 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss., A. Michel, 1992

Event
Veröffentlichung
(where)
Karlsruhe
(who)
Kernforschungszentrum Karlsruhe
(when)
1993
Contributor

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Last update
11.06.2025, 2:23 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 1993

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