Hochschulschrift
Herstellung von beweglichen metallischen Mikrostrukturen auf prozessierten Siliziumwafern
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Karlsruhe, Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Dissertation, 1998
- Erschienen in
-
Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6254
- Schlagwort
-
Mikrostruktur
Abformung
Kunststoff
Opferschicht
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Karlsruhe
- (wer)
-
KIT-Bibliothek
- (wann)
-
1999
- Urheber
-
Mueller, Klaus-Dieter
- DOI
-
10.5445/IR/3099
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2019102907462264516305
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 05:39 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Mueller, Klaus-Dieter
- KIT-Bibliothek
Entstanden
- 1999
Ähnliche Objekte (12)
Umformtechnische Herstellung funktionaler flächiger Mikrostrukturen in metallischen Werkstoffen
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Nahfeld-induzierte Elektronenemissions-Mikrospektroskopie an stark gekoppelten Plasmonen und metallischen Mikrostrukturen
Nahfeld-induzierte Elektronenemissions-Mikrospektroskopie an stark gekoppelten Plasmonen und metallischen Mikrostrukturen
Nah- und Fernfeldspektroskopie metallischer Mikrostrukturen
Von metallischen Dingen
Von metallischen Dingen
Von metallischen Dingen
Reaktivität von Diboranen(4) gegenüber metallischen und nicht-metallischen Lewis-Basen
Reaktivität von Diboranen(4) gegenüber metallischen und nicht-metallischen Lewis-Basen
Von denen Metallischen Saltzen.
Umformtechnische Herstellung funktionaler flächiger Mikrostrukturen in metallischen Werkstoffen
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Nahfeld-induzierte Elektronenemissions-Mikrospektroskopie an stark gekoppelten Plasmonen und metallischen Mikrostrukturen
Nahfeld-induzierte Elektronenemissions-Mikrospektroskopie an stark gekoppelten Plasmonen und metallischen Mikrostrukturen
Nah- und Fernfeldspektroskopie metallischer Mikrostrukturen
Von metallischen Dingen
Von metallischen Dingen
Von metallischen Dingen
Reaktivität von Diboranen(4) gegenüber metallischen und nicht-metallischen Lewis-Basen
Reaktivität von Diboranen(4) gegenüber metallischen und nicht-metallischen Lewis-Basen
Von denen Metallischen Saltzen.
Umformtechnische Herstellung funktionaler flächiger Mikrostrukturen in metallischen Werkstoffen
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Abformung von Mikrostrukturen auf prozessierten Wafern
Nahfeld-induzierte Elektronenemissions-Mikrospektroskopie an stark gekoppelten Plasmonen und metallischen Mikrostrukturen
Nahfeld-induzierte Elektronenemissions-Mikrospektroskopie an stark gekoppelten Plasmonen und metallischen Mikrostrukturen
Nah- und Fernfeldspektroskopie metallischer Mikrostrukturen
Von metallischen Dingen
Von metallischen Dingen
Von metallischen Dingen
Reaktivität von Diboranen(4) gegenüber metallischen und nicht-metallischen Lewis-Basen
Reaktivität von Diboranen(4) gegenüber metallischen und nicht-metallischen Lewis-Basen