Hochschulschrift

Investigations on the influence of oxygen non-stoichiometry on structure, stability and properties of hafnium oxide thin films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014

Klassifikation
Chemie
Physik
Schlagwort
Dünnfilmtechnik , Hafniumdioxid , Nichtstöchiometrische Verbindungen

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen
(wann)
2014
Urheber

URN
urn:nbn:de:hbz:82-opus-51916
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:47 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Liu, Milias
  • Hochschulbibliothek der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen

Entstanden

  • 2014

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