Hochschulschrift

Investigations on the influence of oxygen non-stoichiometry on structure, stability and properties of hafnium oxide thin films

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
157 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2014 (Nicht für den Austausch)

Klassifikation
Chemie
Physik
Schlagwort
Dünnfilmtechnik, Hafniumdioxid, Nichtstöchiometrische Verbindungen

Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:09 MESZ

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Objekttyp

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