- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
-
2045-2322
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
online resource.
- Erschienen in
-
Fabrication of buried nanostructures by atomic layer deposition ; volume:8 ; number:1 ; day:10 ; month:10 ; year:2018 ; pages:1-10 ; date:12.2018
Scientific reports ; 8, Heft 1 (10.10.2018), 1-10, 12.2018
- Urheber
-
Ali, Rizwan
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Saleem, Muhammad Rizwan
Roussey, Matthieu
Turunen, Jari
Honkanen, Seppo
SpringerLink (Online service)
- DOI
-
10.1038/s41598-018-33036-3
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2018111406452868445778
- Rechteinformation
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:45 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Ali, Rizwan
- Saleem, Muhammad Rizwan
- Roussey, Matthieu
- Turunen, Jari
- Honkanen, Seppo
- SpringerLink (Online service)
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