- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
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2045-2322
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Notes
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online resource.
- Bibliographic citation
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Fabrication of buried nanostructures by atomic layer deposition ; volume:8 ; number:1 ; day:10 ; month:10 ; year:2018 ; pages:1-10 ; date:12.2018
Scientific reports ; 8, Heft 1 (10.10.2018), 1-10, 12.2018
- Creator
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Ali, Rizwan
- Contributor
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Saleem, Muhammad Rizwan
Roussey, Matthieu
Turunen, Jari
Honkanen, Seppo
SpringerLink (Online service)
- DOI
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10.1038/s41598-018-33036-3
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2018111406452868445778
- Rights
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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14.08.2025, 10:45 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Ali, Rizwan
- Saleem, Muhammad Rizwan
- Roussey, Matthieu
- Turunen, Jari
- Honkanen, Seppo
- SpringerLink (Online service)