Fluorocarbon plasma erosion of silica glass doped with aluminum

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2019

Keyword
Glass
Silica
Erosion
Aluminum
Plasma
Quarzglas
Aluminium
Modellierung
Erosion

Event
Veröffentlichung
(where)
Bochum
(who)
Ruhr-Universität Bochum
(when)
2020
Creator
Contributor
Keudell, Achim von
Awakowicz, Peter
Fakultät für Physik und Astronomie

URN
urn:nbn:de:hbz:294-68903
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:46 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2020

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