Fluorocarbon plasma erosion of silica glass doped with aluminum

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2019

Keyword
Glass
Silica
Erosion
Aluminum
Plasma
Quarzglas
Aluminium
Modellierung
Erosion

Event
Veröffentlichung
(where)
Bochum
(who)
Ruhr-Universität Bochum
(when)
2020
Creator
Contributor
Keudell, Achim von
Awakowicz, Peter
Fakultät für Physik und Astronomie

URN
urn:nbn:de:hbz:294-68903
Rights
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Last update
25.03.2025, 1:53 PM CET

Data provider

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  • Stamminger, Mark
  • Keudell, Achim von
  • Awakowicz, Peter
  • Fakultät für Physik und Astronomie
  • Ruhr-Universität Bochum

Time of origin

  • 2020

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