Hochschulschrift
Erzeugung maßgeschneiderter Ionen-Energieverteilungen in Niederdruckplasmen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2010
- Classification
-
Physik
- Keyword
-
Ion
Energiespektrum
Randschicht
Plasma-Wand-Wechselwirkung
Niederdruckplasma
Plasma
Substrat
Plasmaphysik
Niederdruckplasma
Hochfrequenzentladung
Plasmarandschicht
Plasma-Wand-Wechselwirkung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Bochum
- (who)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (when)
-
2010
- Creator
- Contributor
-
Keudell, Achim von
Awakowicz, Peter
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-29858
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:49 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Baloniak, Tim
- Keudell, Achim von
- Awakowicz, Peter
- Ruhr-Universität Bochum
Time of origin
- 2010
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(Erzeugung negativer Ionen in einer Hochfrequenz-Ionenquelle)
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