Hochschulschrift
Erzeugung maßgeschneiderter Ionen-Energieverteilungen in Niederdruckplasmen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2010
- Klassifikation
-
Physik
- Schlagwort
-
Ion
Energiespektrum
Randschicht
Plasma-Wand-Wechselwirkung
Niederdruckplasma
Plasma
Substrat
Plasmaphysik
Niederdruckplasma
Hochfrequenzentladung
Plasmarandschicht
Plasma-Wand-Wechselwirkung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2010
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-29858
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:27 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Baloniak, Tim
- Keudell, Achim von
- Awakowicz, Peter
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2010
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