Hochschulschrift
Strukturuntersuchungen an epitaktisch abgeschiedenen SiC-Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783896753687
3896753681
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
135 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1998
- Keyword
-
Siliciumcarbid
Kristallzüchtung
Gasphasenepitaxie
Wafer
Rückseite
Prozessinnovation
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
München
- (who)
-
Utz, Wiss.
- (when)
-
1998
- Creator
-
Lang, Hans-Peter
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:43 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lang, Hans-Peter
- Utz, Wiss.
Time of origin
- 1998
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