Hochschulschrift
Eigenschaften ionenstrahlgesputteter optischer SiO2- und TiO2-Schichten bei unterschiedlichen Wachstumsbedingungen und Veränderungen bei thermischer Nachbehandlung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783896752673
3896752677
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
127 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1997
- Keyword
-
Siliciumdioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Absorption
Sauerstoff
Siliciumdioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Tempern
Optische Eigenschaft
Titandioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Absorption
Sauerstoff
Titandioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Tempern
Optische Eigenschaft
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
2025-03-11T12:08:04+0100
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Tilsch, Markus
- Utz, Wiss.
Time of origin
- 1997