Hochschulschrift

Eigenschaften ionenstrahlgesputteter optischer SiO2- und TiO2-Schichten bei unterschiedlichen Wachstumsbedingungen und Veränderungen bei thermischer Nachbehandlung

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896752673
3896752677
Dimensions
21 cm
Extent
127 S.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1997

Keyword
Siliciumdioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Absorption
Sauerstoff
Siliciumdioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Tempern
Optische Eigenschaft
Titandioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Absorption
Sauerstoff
Titandioxid
Sputtern
Optische Schicht
Schichtwachstum
Tempern
Optische Eigenschaft

Event
Veröffentlichung
(where)
München
(who)
Utz, Wiss.
(when)
1997
Creator

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Last update
2025-03-11T12:08:04+0100

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 1997

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