Hochschulschrift

Strukturuntersuchungen an epitaktisch abgeschiedenen SiC-Schichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896753687
3896753681
Maße
21 cm
Umfang
135 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 1998

Schlagwort
Siliciumcarbid
Kristallzüchtung
Gasphasenepitaxie
Wafer
Rückseite
Prozessinnovation

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
München
(wer)
Utz, Wiss.
(wann)
1998
Urheber
Lang, Hans-Peter

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 11:43 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Lang, Hans-Peter
  • Utz, Wiss.

Entstanden

  • 1998

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