Monografie
Entwicklung mikrooptischer Komponenten für den Einsatz in miniaturisierten optischen Gyroskopen
- Ausgabe
-
[1. Auflage]
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
XIV, 135 Seiten
- ISBN
-
978-3-8440-5618-1
- Identifier
-
1143613635
- Reihe
-
Schriftenreihe Mikrotechnik
Thema
Mikrooptik ; Kippspiegel ; Silicium ; Wafer ; Geräteentwicklung ; Laserkreisel ; Integriert-optisches Bauelement ; Herstellung ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:47 MESZ
Objekttyp
- Monografie
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