Hochschulschrift

Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem komerziellen 2 μm [mym] CMOS Prozess

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183203093
318320309X
Maße
21 cm
Umfang
IX, 111 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 203, Reihe 9

Schlagwort
CMOS
Integration
Siliciumsensor
Beschleunigungssensor
Intelligenter Sensor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1995
Urheber
Riethmüller, Werner

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:01 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Riethmüller, Werner
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1995

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