Hochschulschrift
Entwicklung eines Prozesses zur monolithischen Integration piezoresistiver Beschleunigungssensoren in einem komerziellen 2 μm [mym] CMOS Prozess
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183203093
318320309X
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 111 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 203, Reihe 9
- Keyword
-
CMOS
Integration
Siliciumsensor
Beschleunigungssensor
Intelligenter Sensor
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1995
- Creator
-
Riethmüller, Werner
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
- 11.06.2025, 2:01 PM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Riethmüller, Werner
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1995
Other Objects (12)
Fotodioden zur monolithischen Integration in CMOS-Bausteinen
Untersuchung von Technologien für Farbfilter und Mikrolinsen zur monolithischen Integration in CMOS-Fotosensorarrays
Untersuchung von Technologien für Farbfilter und Mikrolinsen zur monolithischen Integration in CMOS-Fotosensorarrays
Integration und Optimierung optoelektronischer Sensoren in Standard-CMOS-Prozessen
Integration und Optimierung optoelektronischer Sensoren in Standard-CMOS-Prozessen
Beiträge zur monolithischen Integration eines aktiven Dünnschichtmagnetkopfes
Charakterisierung von monolithischen HV-CMOS-Pixelsensoren für Teilchenphysikexperimente = Characterization of monolithic HV-CMOS pixel sensors for particle physics experiments
Entwicklung eines Back-End-Prozesses für eine vollständig CMOS-kompatible Integration nanoskaliger Drucksensoren
Ein Beitrag zur monolithischen Integration von Leuchtdioden und Feldeffekttransistoren
Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS/BiCMOS-Prozessumgebung
Niveauvergleich im monolithischen Betonbau
Niveauvergleiche im monolithischen Betonbau
Fotodioden zur monolithischen Integration in CMOS-Bausteinen
Untersuchung von Technologien für Farbfilter und Mikrolinsen zur monolithischen Integration in CMOS-Fotosensorarrays
Untersuchung von Technologien für Farbfilter und Mikrolinsen zur monolithischen Integration in CMOS-Fotosensorarrays
Integration und Optimierung optoelektronischer Sensoren in Standard-CMOS-Prozessen
Integration und Optimierung optoelektronischer Sensoren in Standard-CMOS-Prozessen
Beiträge zur monolithischen Integration eines aktiven Dünnschichtmagnetkopfes
Charakterisierung von monolithischen HV-CMOS-Pixelsensoren für Teilchenphysikexperimente = Characterization of monolithic HV-CMOS pixel sensors for particle physics experiments
Entwicklung eines Back-End-Prozesses für eine vollständig CMOS-kompatible Integration nanoskaliger Drucksensoren
Ein Beitrag zur monolithischen Integration von Leuchtdioden und Feldeffekttransistoren
Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS/BiCMOS-Prozessumgebung
Niveauvergleich im monolithischen Betonbau
Niveauvergleiche im monolithischen Betonbau
Fotodioden zur monolithischen Integration in CMOS-Bausteinen
Untersuchung von Technologien für Farbfilter und Mikrolinsen zur monolithischen Integration in CMOS-Fotosensorarrays
Untersuchung von Technologien für Farbfilter und Mikrolinsen zur monolithischen Integration in CMOS-Fotosensorarrays
Integration und Optimierung optoelektronischer Sensoren in Standard-CMOS-Prozessen
Integration und Optimierung optoelektronischer Sensoren in Standard-CMOS-Prozessen
Beiträge zur monolithischen Integration eines aktiven Dünnschichtmagnetkopfes
Charakterisierung von monolithischen HV-CMOS-Pixelsensoren für Teilchenphysikexperimente = Characterization of monolithic HV-CMOS pixel sensors for particle physics experiments
Entwicklung eines Back-End-Prozesses für eine vollständig CMOS-kompatible Integration nanoskaliger Drucksensoren
Ein Beitrag zur monolithischen Integration von Leuchtdioden und Feldeffekttransistoren
Integration mikromechanischer Sensoren in einer CMOS/BiCMOS-Prozessumgebung
Niveauvergleich im monolithischen Betonbau