Entwicklung eines Back-End-Prozesses für eine vollständig CMOS-kompatible Integration nanoskaliger Drucksensoren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Dortmund, Technische Universität, Dissertation, 2018
- Classification
-
Industrielle und handwerkliche Fertigung
- Keyword
-
CMOS
Drucksensor
Transistor
Drain
Integration
Silicium
CMOS
Halbleiter
Drucksensor
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dortmund
- (who)
-
Universitätsbibliothek Dortmund
- (when)
-
2018
- Creator
- Contributor
- Handle
-
2003/37141
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2018101203424902903246
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
- 15.08.2025, 7:20 AM CEST
Data provider
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Associated
- Kontis, Christopher
- Fiedler, Horst L.
- Horstmann, John Thomas
- Universitätsbibliothek Dortmund
Time of origin
- 2018
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