Monografie
Ion induced stress relaxation during the growth of cubic boron nitride thin films
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
-
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2004
- Identifier
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972228373
Thema
Bornitrid ; Dünne Schicht ; Magnetronsputtern ; Röntgendiffraktometrie ; Spannungsrelaxation ; 133078 ; Bornitrid ; Dünne Schicht ; Magnetronsputtern ; Röntgendiffraktometrie ; Spannungsrelaxation; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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