Hochschulschrift
Planungsstrategien zur strömungstechnischen Optimierung von Reinraum-Fertigungsgeräten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540540274
354054027X
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 144 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss.
- Bibliographic citation
-
IWB-Forschungsberichte / Technische Universität München ; Bd. 34
- Keyword
-
Halbleitertechnologie
Fertigungsmittel
Aerodynamik
Reinraumtechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo, Hong Kong, Barcelona, Budapest
- (who)
-
Springer
- (when)
-
1991
- Creator
-
Fischbacher, Johannes
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:38 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Fischbacher, Johannes
- Springer
Time of origin
- 1991
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