Hochschulschrift

Planungsstrategien zur strömungstechnischen Optimierung von Reinraum-Fertigungsgeräten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783540540274
354054027X
Maße
21 cm
Umfang
IX, 144 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Techn. Univ., Diss.

Erschienen in
IWB-Forschungsberichte / Technische Universität München ; Bd. 34

Schlagwort
Halbleitertechnologie
Fertigungsmittel
Aerodynamik
Reinraumtechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo, Hong Kong, Barcelona, Budapest
(wer)
Springer
(wann)
1991
Urheber
Fischbacher, Johannes

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:38 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Fischbacher, Johannes
  • Springer

Entstanden

  • 1991

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