Hochschulschrift
LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik : Bestimmung der elastischen Eigenschaften
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183183180
3183183188
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XII, 116 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 1994
- Bibliographic citation
-
Fortschritt-Berichte VDI / 18 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 183, Reihe 18
- Keyword
-
LPCVD-Verfahren
Silicium
Polykristall
Elastizitätsmodul
LPCVD-Verfahren
Silicium
Polykristall
Eigenspannung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsselorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1995
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:42 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Maier-Schneider, Dieter
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1995
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