Hochschulschrift
Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Halle (Saale), Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, Diss., 2013
- Classification
-
Physik
- Keyword
-
Silicium
Rückstreuung
Kristallgitter
Verzerrung
Raumauflösung
Nanostruktur
Ionenstrahl
Beugungsfigur
Verzerrungstensor
Oberfläche
Beugung
Elektronenbeugung
Amorphisierung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Halle, Saale
- (who)
-
Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
- (when)
-
2013
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:3:4-12037
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:41 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Krause, Michael
- Wehrspohn, Ralf B.
- Hanke, Michael
- Leipner, Hartmut S.
- Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
Time of origin
- 2013
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